专利详情

专利名称	筒长无限的显微物镜光学系统
申请号	CN201420083669.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203773149U	公开（授权）日	2014.08.13
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	蔡燕民;王向朝;黄惠杰
主分类号	G02B21/02(2006.01)I	IPC主分类号	G02B21/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	筒长无限的显微物镜光学系统至筒长无限的显微物镜光学系统	法律状态	授权
说明书摘要	一种筒长无限的显微物镜光学系统，是一种折反射式光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜，第一透镜、第二透镜和第三透镜具有负光焦度，并弯向物面；第四透镜和第五透镜是双凹负透镜；第六透镜是双凸正透镜；第七透镜具有正光焦度，并弯向物面；孔径光阑位于第三透镜的前表面位置，物面位于所述筒长无限的显微物镜的后焦面位置。本实用新型采用折反射式结构，实现最大数值孔径为0.93，最短焦距为2.15mm，而且成像质量接近完善成像；透镜数量少，结构紧凑，体积小，重量轻；完全满足用于深紫外检测显微镜的技术要求。