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真空系统兼容的同轴精密线性推进装置

  • 申请号:CN201310052836.1
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院物理研究所
  • 公开(公开)号:CN103996417A
  • 公开(公开)日:2014.08.20
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 真空系统兼容的同轴精密线性推进装置
申请号 CN201310052836.1 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103996417A 公开(授权)日 2014.08.20
申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 武荣庭;郇庆;闫凌昊;高鸿钧
主分类号 G12B5/00(2006.01)I IPC主分类号 G12B5/00(2006.01)I
专利有效期 真空系统兼容的同轴精密线性推进装置 至真空系统兼容的同轴精密线性推进装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种真空系统兼容的同轴精密线性推进装置,其特征在于,包括:一波纹管和一波纹管的同轴线性驱动组件;该波纹管的同轴线性驱动组件包含一左旋驱动件、一连接件、以及一右旋驱动件,该连接件的两端分别连接该左旋驱动件以及该右旋驱动件,该左旋驱动件、该连接件以及该右旋驱动件均为中空式结构,且形成一容置空间,该波纹管设置在该容置空间内,且该波纹管的两端分别固定在该左旋驱动件和该右旋驱动件上。

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