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一种制作低应力低翘曲度超薄奇数层无芯板的方法

  • 申请号:CN201410246593.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
  • 公开(公开)号:CN103997862A
  • 公开(公开)日:2014.08.20
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种制作低应力低翘曲度超薄奇数层无芯板的方法
申请号 CN201410246593.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103997862A 公开(授权)日 2014.08.20
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 发明(设计)人 于中尧
主分类号 H05K3/46(2006.01)I IPC主分类号 H05K3/46(2006.01)I
专利有效期 一种制作低应力低翘曲度超薄奇数层无芯板的方法 至一种制作低应力低翘曲度超薄奇数层无芯板的方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种制作低应力低翘曲度超薄奇数层无芯板的方法,包括:在半固化片双面各贴附一层铜箔,制作低温压合双面覆铜半固化片;对该双面覆铜半固化片双面进行光刻、显影和刻蚀,形成双面具有电路的半固化片;将该半固化片、第二半固化片和第二铜箔由上至下叠加进行低温真空压合,形成复合基板结构;对该复合基板结构底层的第二铜箔进行光刻、显影和刻蚀,形成具有3层电路的复合半固化片;对该复合半固化片进行高温真空压合,形成带有3层金属电路2层树脂的无芯基板结构;对该无芯基板结构进行激光钻孔形成通孔,对该通孔进行金属化处理形成导电过孔,双面制作绿油并绿油开窗,对露出的金属电路表面涂敷或喷锡,形成3层金属电路无芯板。

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