
基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法
- 申请号:CN201410209198.4
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学技术大学
- 公开(公开)号:CN103996719A
- 公开(公开)日:2014.08.20
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法 | ||
申请号 | CN201410209198.4 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN103996719A | 公开(授权)日 | 2014.08.20 |
申请(专利权)人 | 中国科学技术大学 | 发明(设计)人 | 邵伟佳;许小亮;李为民;吴以治;王会杰;郁菁 |
主分类号 | H01L31/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
专利有效期 | 基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法 至基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明公开了基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法,其特征在于:在基底上从下至上依次叠加设置有金属薄膜、介质层和周期性介质单元阵列。本发明的超材料光学传感器具有很低的热阻尼(相当于国际产品的1/100以下),且具有很高的折射率灵敏度和品质因数(一般情况下高于国际产品2-3倍)。 |
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