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基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法

  • 申请号:CN201410209198.4
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学技术大学
  • 公开(公开)号:CN103996719A
  • 公开(公开)日:2014.08.20
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法
申请号 CN201410209198.4 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103996719A 公开(授权)日 2014.08.20
申请(专利权)人 中国科学技术大学 发明(设计)人 邵伟佳;许小亮;李为民;吴以治;王会杰;郁菁
主分类号 H01L31/02(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期 基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法 至基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了基于介质-介质-金属结构的超材料光学传感器及其制备方法,其特征在于:在基底上从下至上依次叠加设置有金属薄膜、介质层和周期性介质单元阵列。本发明的超材料光学传感器具有很低的热阻尼(相当于国际产品的1/100以下),且具有很高的折射率灵敏度和品质因数(一般情况下高于国际产品2-3倍)。

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