专利详情

专利名称	一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法
申请号	CN201310060571.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104004988A	公开（授权）日	2014.08.27
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	王占杰;宁兴坤;张志东
主分类号	C23C14/06(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/06(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I
专利有效期	一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法至一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法，所述材料的组成为NiO：0~50%，La_0.7Sr_0.3MnO₃:50~100%，该材料的居里温度为200~345K，具有良好的低场磁电阻；该材料的制备方法是利用脉冲激光沉积法在650~750°C和25~50Pa氧压的条件下，用镧锶锰氧和氧化镍靶材在SrTiO₃(001)基板上沉积10~25nm镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜。通过控制激光照射不同靶材的时间，使薄膜中的氧化镍含量连续可变，在200~345K范围内实现了低场磁电阻的连续可调。该复合薄膜作为磁电阻材料在磁传感器、磁存储器、晶体管等微小电子器件方面具有广阔的应用前景。