专利详情

专利名称	单幅载频干涉条纹相位提取方法及检测装置
申请号	CN201410095741.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104006765A	公开（授权）日	2014.08.27
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	周游;刘世杰;白云波;陈惟肖;王微微
主分类号	G01B11/25(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/25(2006.01)I
专利有效期	单幅载频干涉条纹相位提取方法及检测装置至单幅载频干涉条纹相位提取方法及检测装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于大平面光学元件检测的单幅载频干涉条纹的相位提取方法及检测装置，该方法主要以虚光栅移相莫尔条纹和二维傅立叶变换为基础，从单幅载频干涉图中提取被测光学元件全口径范围内的二维波面相位信息，并提出了圆形口径元件面形均方根梯度值（GRMS）的计算方法。此外，基于本发明方法构建的平面光学元件面形检测装置可应用到光学加工车间的工序干涉检测中，本发明可满足对平面光学元件透射/反射低频面形偏差的检测，提高加工检测的精度和效率。