专利详情

专利名称	一种高精度长程光学表面面形检测仪
申请号	CN201410253989.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104019762A	公开（授权）日	2014.09.03
申请（专利权）人	中国科学院高能物理研究所	发明（设计）人	李明;杨福桂;王秋实;盛伟繁;刘鹏
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种高精度长程光学表面面形检测仪至一种高精度长程光学表面面形检测仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种高精度长程光学表面面形检测仪，包括第一光学头、参考镜和第二光学头，所述第一光学头用于扫描待测光学元件，所述参考镜固定设置于所述第一光学头的侧壁上，所述第二光学头向所述参考镜投射参考光束，并检测所述参考镜反射的参考光束，所述第一光学头与所述第二光学头的精度等级不同。本发明中采用第一光学头和第二光学头，第一光学头进行扫描测量待测光学元件，第二光学头进行第一光学头的扫描运动误差检测，两光学头根据不同的检测需求和等级来设置精度、测量范围以及光束宽度，从而能够更加准确的测量待测光学元件，而且不易受外界环境干扰。