专利详情

专利名称	一种提高石墨烯表面洁净度的湿法腐蚀化学转移法
申请号	CN201410231250.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104030274A	公开（授权）日	2014.09.10
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	陈志蓥;于广辉;张燕辉;隋妍萍;张浩然;张亚欠;汤春苗;朱博;李晓良
主分类号	C01B31/04(2006.01)I	IPC主分类号	C01B31/04(2006.01)I
专利有效期	一种提高石墨烯表面洁净度的湿法腐蚀化学转移法至一种提高石墨烯表面洁净度的湿法腐蚀化学转移法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种提高石墨烯表面洁净度的湿法腐蚀化学转移法，其特征在于包括先在金属衬底和石墨烯的结合体上沉积一层金属，在金属上表面涂一层有机胶体，然后放到腐蚀液中，得到有机胶体、金属层和石墨烯层的结合体，再将三者的结合体转移到目标衬底上并去除有机胶体，将得到的金属和石墨烯的结合体再次放到腐蚀液中，待金属层被去除，即得到转移好的石墨烯。与传统的湿法腐蚀化学转移方法相比，本方法在旋涂有机胶体之前在石墨烯表面沉积一层金属，阻挡石墨烯和有机胶体的直接接触，有效地避免了转移后有机胶体在石墨烯表面的残留。