专利详情

专利名称	一种微米尺度材料应变检测装置及其检测方法
申请号	CN201310070052.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104034251A	公开（授权）日	2014.09.10
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	庄重;程帜军;郭丽君;王先平;吴兵;方前锋
主分类号	G01B7/16(2006.01)I	IPC主分类号	G01B7/16(2006.01)I
专利有效期	一种微米尺度材料应变检测装置及其检测方法至一种微米尺度材料应变检测装置及其检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种微米尺度材料应变检测装置及其检测方法，其特征在于：该装置包括三维微动步进电机平台、压电位移管和检测电极，所述的三维微动步进电机平台下方垂直设有压电位移管，所述的检测电极设置在所述的压电位移管下方，所述的检测电机与三维微动步进电机相互平行，所述的检测电极下方设有样品底座。该方法是将检测电极放置到距离接近试样最大形变处，使试样与检测电极形成微小电容。当试样动态形变时，微小电容会产生变化，将高频载波施加在待测试样上，可准确检测电容的变化，即可测量试样产生的应变。将测量的应变信号通过锁相技术进行解耦，可以获得应变信号的振幅与应变落后于参考信号的相角差。本发明具有结构简单可靠、检测精确的优点。