专利详情

专利名称	基于表面微结构的高精度长度检测方法
申请号	CN201410268038.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104034266A	公开（授权）日	2014.09.10
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	朱小明;王晓东
主分类号	G01B11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/02(2006.01)I
专利有效期	基于表面微结构的高精度长度检测方法至基于表面微结构的高精度长度检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	基于表面微结构的高精度长度检测方法，属于高精度长度检测领域，调整测量设备处于水平状态，开启照明光源和图像采集系统；放置待检测物体用防抖驱动的夹具于侧面固定调平；将分辨率测试卡紧贴待测物体表面放置，调整放大镜组一和放大镜组二倍率，获得合适分辨率条纹的图像，由于分辨率测试卡是透明的，同时可以使被检测物体表面的微结构在各自的摄像系统视场中占据合适视场，测量软件计算分辨率并显示；启动图像存储系统，此时平移待测物体，系统开始显示并存储摄像系统输出的数据；计算模块根据测试卡标定的分辨率等参数，计算并存储相邻图像间待检测物体表面微结构的位移量；完成检测，停止图像存储系统，此时直流电机和图像存储模块停止工作。