专利详情

专利名称	一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置及方法
申请号	CN201410264644.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104034279A	公开（授权）日	2014.09.10
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	贾辛;许嘉俊;徐富超;谢伟民;邢廷文
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置及方法至一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置及方法，从激光器发射的光经过滤波孔、第一聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、经过衰减片后经分光镜透射，再经反射镜反射的光再经分光镜反射，再经第一光学调整架，第二聚光镜组照射到小孔。小孔产生的一部分衍射光照射到待测镜面，待测镜面的反射光经小孔边框反射后与小孔的另一部分衍射波面产生干涉条纹，干涉条纹经过会聚光学单元，再由光学探测器收集。待测镜面放置在第二光学调整架上，可以沿待测镜法线方向进行移动，进行环孔径拼接测量，同时可以控制第一光学调整架旋转和平移，对待测镜面进行扫描拼接测量。