专利详情

专利名称	高稳定性转镜干涉仪
申请号	CN201410284098.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104034423A	公开（授权）日	2014.09.10
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	相里斌;张文喜;方煜;谭政;周志盛;吕群波
主分类号	G01J3/45(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/45(2006.01)I;G01J3/26(2006.01)I
专利有效期	高稳定性转镜干涉仪至高稳定性转镜干涉仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种高稳定性转镜干涉仪，包括分束器、第一平面反射镜、第二平面反射镜、倾斜反射镜、第三平面反射镜以及能量收集镜，其中，所述第一平面反射镜与所述第二平面反射镜平行设置构成旋转反射镜组，所述旋转反射镜组固定连接转轴，通过所述转轴的旋转所述旋转反射镜组转动，所述倾斜反射镜具有倾角，所述旋转反射镜组的出射光垂直入射所述倾斜反射镜。采用一对平行平面镜保证了入射光线和出射光线平行，平面镜组的旋转保证了系统自稳定性和减少了探测时间，系统结构简单，降低了加工装调难度和生产成本的。