专利详情

专利名称	一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法
申请号	CN201310080808.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104045075A	公开（授权）日	2014.09.17
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李铁;梁晨;王跃林
主分类号	C01B31/04(2006.01)I	IPC主分类号	C01B31/04(2006.01)I
专利有效期	一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法至一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法，包括步骤：1）提供一金属衬底，将该金属衬底置于化学气相沉积反应腔中；2）采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3）于第一温度下对所述反应腔通入氢气，以对所述金属衬底表面的氧化物进行还原；4）于第二温度下将碳源气体与硫源气体通入所述反应炉进行反应，于所述金属衬底表面形成硫掺杂石墨烯；5）于氢气及惰性气体气氛中对所述反应腔进行降温。本发明可以简单高效的在金属衬底上制备硫掺杂石墨烯，经济成本低，可大规模生产大面积的硫掺杂石墨烯，可以实现对石墨烯进行可控掺杂并且便于后续器件制备的进行。