专利详情

专利名称	光学元件面形检测均匀支撑装置
申请号	CN201410260827.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104048636A	公开（授权）日	2014.09.17
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	李显凌;陈华男;倪明阳;彭海峰
主分类号	G01B21/20(2006.01)I	IPC主分类号	G01B21/20(2006.01)I
专利有效期	光学元件面形检测均匀支撑装置至光学元件面形检测均匀支撑装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种光学元件面形检测均匀支撑装置，属于光学元件面型检测领域。本发明的支撑装置，包括活动球头活塞支撑、直线轴承、壳体和底座；壳体固定在底座上并与底座构成腔体，壳体上设有按圆周均布且与腔体贯通的多个安装孔，每个安装孔的内壁上均设定有直线轴承且均放置有一个活动球头活塞支撑；活动球头活塞支撑包括支撑体、圆球以及活塞；直线轴承限制活动球头活塞支撑沿轴向运动；腔体内存在流体且流体处于密封状态，流体通过压力推动活塞，使活动球头活塞支撑沿轴向运动，提供对光学元件的支撑力。该装置适用于平面、球面以及非球面光学元件的面型检测需求，极大减小检测工装引入的像散，保证了光学元件面型检测的高精度。