专利详情

专利名称	一种径向抽拉式结构的物镜保护窗口
申请号	CN201410310434.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104049473A	公开（授权）日	2014.09.17
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	华洋洋;倪明阳;李显凌;杨怀江;隋永新
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种径向抽拉式结构的物镜保护窗口至一种径向抽拉式结构的物镜保护窗口	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种径向抽拉式结构的物镜保护窗口属于光刻投影物镜内部光学系统保护领域，目的在于解决现有技术存在的不便维护、重复定位精度低的问题，避免作为物镜光学系统中的窗口光学镜片热吸收引起的面形变化。本发明包括固定组件、镜框组件和镜筒组件；镜框组件包括V形夹持块、窗口镜框和窗口镜片；窗口镜框内侧设置有多个V形结构，V形夹持块通过螺钉固定在窗口镜框上，多个V形结构和V形夹持块圆周均布，窗口镜片通过多个V形结构和V形夹持块固定在窗口镜框上；镜筒组件包括窗口镜筒，镜框组件通过固定组件固定在镜筒组件上，镜框组件可以沿窗口镜筒径向实现抽拉；窗口镜片、窗口镜框和窗口镜筒同轴安放。