专利详情

专利名称	一种片状基片的连续镀膜生产系统
申请号	CN201410204085.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104060236A	公开（授权）日	2014.09.24
申请（专利权）人	中国科学院广州能源研究所	发明（设计）人	徐刚;詹勇军;熊斌;黄华凛;孙耀明
主分类号	C23C14/56(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/56(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I
专利有效期	一种片状基片的连续镀膜生产系统至一种片状基片的连续镀膜生产系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种片状基片的连续镀膜生产系统，包括依次连通的进料区、工作区和下料区，进料区包含进片台，工作区依据镀膜工艺流程方向依次包括若干预真空室、第一过渡室、镀膜沉积室、快速气氛退火室、若干预真空室，下料区包括卸料台，工作区各室均具备所需真空环境；还包括能进行线性传动的传输装置；所述传输装置贯通整个进料区、工作区和下料区。本连续镀膜系统实现了包含热色涂层材料在内的一层或多层复合膜的在同一条生产线的分区域连续沉膜与退火，明显提高了生产效率，同时降低了材料在镀膜后离线退火过程中的材料损耗成本。由于其独特的结构设计可以明显改善钢化应力损耗的问题，该系统生产的钢化玻璃基智能玻璃应力可达到国家建筑节能安全玻璃的应力标准要求≥90Mpa。