专利详情

专利名称	一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统
申请号	CN201410283831.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104062746A	公开（授权）日	2014.09.24
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	吕保斌;邢延文;林妩媚;白瑜;邓超;朱红伟;廖志远;刘志祥
主分类号	G02B13/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B13/18(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B17/08(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统至一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统。本发明中大数值孔径的折反射浸没投影光学系统由多个透镜和四个反射镜组成。从物面到像面依次可分为四个镜组。其中，第一透镜组具有正光焦度，且相对于其他镜组沿径向有一定距离偏移，有利于压缩后续光路，从而减小后续光路中透镜和反射镜的口径。本发明中的投影光学系统数值孔径大、像差小。相对于其他投影物镜，其最大优势在于达到较大数据孔径的同时，系统中透镜和反射镜的口径较小，从而降低对光学材料的尺寸要求，减小制造成本，降低镜片的加工、检测难度。