专利详情

专利名称	压力温度可调的气体放电等离子体发生装置
申请号	CN201420178777.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203851355U	公开（授权）日	2014.09.24
申请（专利权）人	中国科学院工程热物理研究所	发明（设计）人	李帆;张文强;林峰
主分类号	H05H1/24(2006.01)I	IPC主分类号	H05H1/24(2006.01)I
专利有效期	压力温度可调的气体放电等离子体发生装置至压力温度可调的气体放电等离子体发生装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种压力温度可调的气体放电等离子体发生装置。该装置包括一个能够耐压耐温的压力气罐、等离子体激励器、泵组、加热器、高速采集装置和各种传感器等等组成。等离子体激励器可以将电线接入压力气罐中连接放电件，利用泵组能够让压力气罐中的压力在0-1.1Mpa范围内变动，利用加热片可以将其中的气体加热到100℃，高速采集装置可以采集放电时候的电流和电压，还可以通过安装其他传感器测量等离子体亮度等参数。利用本实用新型，能够为研究气体放电等离子体实验提供不同压力和温度的反应环境，同时可以用于小件材料表面改性和臭氧生成等其他用途。