专利详情

专利名称	一种真空紫外激光线宽的测量装置
申请号	CN201420070415.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203848938U	公开（授权）日	2014.09.24
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	宗楠;赵巍;许祖彦;彭钦军;张申金;杨峰;王志敏;张丰丰
主分类号	G01J9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01J9/02(2006.01)I
专利有效期	一种真空紫外激光线宽的测量装置至一种真空紫外激光线宽的测量装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种真空紫外激光线宽的测量装置，其中：真空腔系统包括腔体和入射窗口，光束准直系统、干涉元件和探测元件均置于所述腔体内；所述入射窗口用于入射真空紫外激光；光束准直系统用于对入射的真空紫外激光进行准直；所述干涉元件为楔形劈尖，用于将准直后的真空紫外激光反射形成两束相干光束，在探测元件表面产生干涉条纹；所述探测元件用于采集所述干涉条纹的信息；数据处理系统用于采集和处理所述探测元件获得的干涉条纹的信息，得到所述真空紫外激光的线宽。本实用新型解决了现有技术中对于波长小于185nm的真空紫外激光无法直接测量线宽的技术问题，光学结构简单，性能稳定，对连续、准连续和脉冲真空紫外激光均可实时测量。