专利详情

专利名称	轴对称光学非球面面形在线测量方法
申请号	CN201410310167.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104070418A	公开（授权）日	2014.10.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	代雷;闫丰;张健;隋永新;杨怀江
主分类号	B23Q17/24(2006.01)I	IPC主分类号	B23Q17/24(2006.01)I
专利有效期	轴对称光学非球面面形在线测量方法至轴对称光学非球面面形在线测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	轴对称光学非球面面形在线测量方法，涉及光学加工领域，解决了现有测量方法存在的工件需要重新定位、测量精度低、成本高的问题。该方法为：规划待测元件角速度、在线测高仪沿非球面母线运行速度和采样时间，生成螺旋线采样点空间坐标矩阵并转换为可执行的数控代码文件后执行，在线测高仪沿非球面母线由外向内半径扫描，按照采样时间采样测得该位置在垂直方向的面形高度，测量后会在指定坐标处通过在线测高仪得到新的待测元件的非球面在垂直方向的面形高度，待扫面完毕将全部采样点的三维坐标信息导入计算机分析，自动拟合求得非球面面形误差信息。本发明实现了在线测量，加工精度高，降低了重复定位误差，采样要求低，节约时间成本，效率高。