专利详情

专利名称	电容位移传感器标定装置
申请号	CN201410314100.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104075652A	公开（授权）日	2014.10.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	张德福;郭抗;李显凌;隋永新
主分类号	G01B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B7/02(2006.01)I
专利有效期	电容位移传感器标定装置至电容位移传感器标定装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种电容位移传感器标定装置，属于传感器标定技术领域。解决了现有技术中电容位移传感器标定装置标定精度低的技术问题。该标定装置包括电容位移机构和干涉仪机构；所述电容位移机构包括标定台基座、标定台支撑架、传感器支撑架、驱动器、标定台静平台、铰链、标定台动平台、测量角反射镜、导光元件支撑架、导光元件固定座、参考角反射镜、分光镜、传感器固定座、电容传感器、被测面板和驱动器推杆；所述干涉仪机构包括单轴激光干涉仪、干涉仪调节底座、干涉仪支撑架和干涉仪底座。本发明的装置提高了现有电容位移传感器标定装置安装传感器时传感面和被测面之间的平行度精度，减小了装调引入的测量误差，提高传感器标定精度。