专利详情

专利名称	凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法
申请号	CN201410311670.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104075668A	公开（授权）日	2014.10.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	陈新东;张斌智
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法至凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法，涉及非球面检测领域，解决了现有方法存在的精度低、重复性差、不准确的问题。该方法为调整干涉仪、Hindle球反射镜和凸双曲面对凸双曲面干涉检测，使面形误差均方根值最小；将激光跟踪仪靶标球放在凸双曲面外焦点，对其表面干涉检测，并将倾斜和离焦调至最小，测量其空间坐标；采用激光跟踪仪测量凸双曲面表面特征；移开凸双曲面，对Hindle球反射镜干涉检测，并将倾斜和离焦调至最小；将激光跟踪仪靶标球放在凸双曲面内焦点，对其表面干涉检测，并将倾斜和离焦调至最小，测量其空间坐标；构建检测光轴直线和间隔计算出几何量。本发明测量精度约为0.05mm，精度高，重复性好。