专利详情

专利名称	一种像散变形镜装置
申请号	CN201410311300.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104076617A	公开（授权）日	2014.10.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	赵磊;刘震宇;谢军;杨怀江;隋永新;张巍
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I
专利有效期	一种像散变形镜装置至一种像散变形镜装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种像散变形镜装置属于光学系统的系统像差补偿领域，目的在于解决现有技术存在的加工制造困难和引入刚体位移大的问题。本发明包括光学元件、可变形镜框、四个致动器、四个位移传感器、上固定板和下固定板；光学元件与可变形镜框之间通过胶粘或压紧的方式连成镜框组件，上固定板和下固定板分别通过螺钉固定在可变形镜框上，上固定板上设置有两个周向180°分布的致动器，下固定板上设置有两个周向180°分布的致动器，上固定板和下固定板上的四个致动器周向90°分布，致动器沿光学元件的光轴方向设置，输入位移垂直作用在可变形镜框上；四个位移传感器分别设置在上固定板和下固定板上，与四个致动器相对。