专利详情

专利名称	一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法
申请号	CN201410290678.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104089801A	公开（授权）日	2014.10.08
申请（专利权）人	上海市计量测试技术研究院;中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	周莹;王虎;吴伟;曾毅;徐建;刘紫微
主分类号	G01N1/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01N1/28(2006.01)I;G01N1/44(2006.01)I
专利有效期	一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法至一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法。a、对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行表面处理，b、将氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样固定在氩离子束研磨仪的样品台上，调节氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的中心，c、抽真空至1×10^-5～1×10^-3Pa，先后三次调整且每次调整样品台的倾斜角度为60°～85°再对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行氩离子束研磨，d、将氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样倾斜角度回复到0°，对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行喷镀处理。本发明具有具有无剪切应力残留，无磨料污染，无划痕，试样损伤小等特点，菊池带具有较高的清晰度，电子衍射花样的标定率在95%以上。