
一种过滤芯片及其加工制作方法
- 申请号:CN201410318034.5
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 公开(公开)号:CN104083930A
- 公开(公开)日:2014.10.08
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种过滤芯片及其加工制作方法 | ||
申请号 | CN201410318034.5 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN104083930A | 公开(授权)日 | 2014.10.08 |
申请(专利权)人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明(设计)人 | 黄伟;李丰;杨立梅;张巍巍 |
主分类号 | B01D29/58(2006.01)I | IPC主分类号 | B01D29/58(2006.01)I |
专利有效期 | 一种过滤芯片及其加工制作方法 至一种过滤芯片及其加工制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明涉及一种过滤芯片,同时还涉及过滤芯片的制作方法,属于环境、食品、化工和医药等领域。该芯片包括具有过滤结构的衬底、上盖、正向进样口、正向出样口、反向回冲进样口、反向回冲出样口,芯片一侧由近及远依次排列着分别与过滤结构相连通的反向回冲出样口、正向进样口,芯片另一侧由近及远依次排列着分别与过滤结构相连通的正向出样口、反向回冲进样口,所述过滤结构由一系列具有间隙呈柱状阵列的微纳柱体组成的,分为内过滤结构和外过滤结构,具有过滤结构的衬底和上盖通过衬底上未刻蚀部分牢固绑定在一起。本发明回收率高、可承受高流速、成本低、适于大规模量产,可广泛用于水、食品及微生物领域微颗粒的过滤和浓缩。 |
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