一种压阻传感元件及其制备方法
- 申请号：CN201410338897.9
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 公开(公开)号：CN104089570A
- 公开(公开)日：2014.10.08
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种压阻传感元件及其制备方法 | ||
| 申请号 | CN201410338897.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN104089570A | 公开（授权）日 | 2014.10.08 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 汪爱英;郭鹏;李润伟;张栋;杨华礼;柯培玲 |
| 主分类号 | G01B7/16(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B7/16(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种压阻传感元件及其制备方法 至一种压阻传感元件及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提供了一种压阻传感元件。该压阻传感元件以类金刚石碳膜为压阻材料，由衬底、位于衬底表面的类金刚石碳膜，以及位于类金刚石碳膜表面金属电极组成。与现有的压阻传感元件相比，该元件具有高灵敏度系数GF值，同时由于非晶碳的各向同性，其在各个方向的灵敏度相同，并且可通过改变工艺参数对GF值进行调控；另外，该元件可在强酸碱环境、摩擦接触服役等特殊环境及工况下工作，因此具有良好的应用前景。 | ||
交易流程
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