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一种相变存储器加热电极及相变存储器

  • 申请号:CN201420162810.2
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
  • 公开(公开)号:CN203871379U
  • 公开(公开)日:2014.10.08
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种相变存储器加热电极及相变存储器
申请号 CN201420162810.2 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN203871379U 公开(授权)日 2014.10.08
申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 孔涛;张杰;黄荣;卫芬芬;程国胜
主分类号 H01L45/00(2006.01)I IPC主分类号 H01L45/00(2006.01)I;B82Y10/00(2011.01)I
专利有效期 一种相变存储器加热电极及相变存储器 至一种相变存储器加热电极及相变存储器 法律状态
说明书摘要 本实用新型提供一种相变存储器,具体地说是通过以纳米锥阵列为模板制备纳米阵列加热电极,从而减小加热电极的实际有效面积,减小加热电极与相变材料的接触面积,提高加热电流密度。从而就避免了直接制备纳米加热电极(100nm以下)的困难,降低制造成本,更重要的是降低了相变存储器的功耗。

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