专利详情

专利名称	一种光学系统波像差测量装置与测量方法
申请号	CN201410373440.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104101487A	公开（授权）日	2014.10.15
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	卢增雄;齐月静;苏佳妮;杨光华;周翊;王宇
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种光学系统波像差测量装置与测量方法至一种光学系统波像差测量装置与测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种光学系统波像差测量装置和方法，装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、反射装置以及夏克-哈特曼波前传感器，线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；1/2波片用于将线偏振平面波转换后成为s偏振平面波；偏振分光棱镜用于将经1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片，并透射来自1/4波片透射的p偏振光；1/4波片用于将来自偏振分光棱镜的s偏振平面波转换成为圆偏振平面波，以及将由来自反射装置的圆偏振平面波转换成为p偏振平面波；反射装置用于使来自1/4波片的圆偏振平面沿原路返回；夏克-哈特曼波前传感器则用于测量入射到其上的p偏振光的波像差。本发明可以实现各种复杂光学系统波像差的高精度检测。