专利详情

专利名称	一种直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置及方法
申请号	CN201310113289.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104104006A	公开（授权）日	2014.10.15
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	宗楠;杨峰;徐志;张申金;彭钦军;许祖彦;王志敏
主分类号	H01S3/109(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/109(2006.01)I;H01S3/094(2006.01)I;G02F1/37(2006.01)I;G02F1/355(2006.01)I
专利有效期	一种直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置及方法至一种直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置及方法，该装置包括激光泵浦源、直接倍频器件、真空腔和功率测量系统；还包括光束整形系统和四维预调节平转台；其中所述激光泵浦源为窄线宽全固态紫外激光泵浦源；所述光束整形系统位于激光泵浦源和真空腔之间；所述四维预调节平转台固定在真空腔内；所述直接倍频器件固定于所述转接板上；该方法为先实现低功率泵浦条件下相位匹配，在此基础上预先调节直接倍频器件角度，预先实现高功率条件下相位匹配。本发明可实现高功率百毫瓦及瓦级真空紫外激光输出，产生的真空紫外激光具有线宽窄、倍频转换效率高、倍频输出功率高，在高功率下输出功率稳定，可实用化等特点。