专利详情

专利名称	基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法
申请号	CN201410360070.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104111120A	公开（授权）日	2014.10.22
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	吴飞斌;唐锋;王向朝;李杰;李永
主分类号	G01J9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01J9/02(2006.01)I
专利有效期	基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法至基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法，该方法采用的朗奇剪切干涉仪结构包括光源、聚焦透镜、散射光学元件、一维衍射光栅板、被测光学系统平台、棋盘光栅、二维光电传感器和计算机。在被测光学系统物平面和像平面分别放置一维衍射光栅和棋盘光栅，通过采集相移间隔为π/4的9幅干涉条纹图计算相位，消除朗奇剪切干涉中多级衍射光干涉对相位提取精度的影响。本发明的相位提取方法，消除0级与±1级以外的较高级次衍射项的影响，降低波像差检测中相位提取的系统误差，提高光学系统的波像差检测精度。