专利详情

专利名称	一种大数值孔径的投影物镜光学系统
申请号	CN201410379489.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104111518A	公开（授权）日	2014.10.22
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	吕保斌;邢延文;林妩媚;白瑜;邓超;朱红伟;廖志远;刘志祥
主分类号	G02B13/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B13/18(2006.01)I;G02B13/14(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种大数值孔径的投影物镜光学系统至一种大数值孔径的投影物镜光学系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种大数值孔径的投影物镜光学系统。本发明中的投影物镜光学系统由多个透镜组成。从物面到像面依次可分为三个镜组。其中，第一透镜组具有负光焦度，第二透镜组具有正光焦度，第三透镜组具有正光焦度。本发明中的投影物镜光学系统数值孔径大、像差小、非球面个数少。本发明中的投影物镜光学系统最大优势在于在达到大数据孔径的同时，系统中透镜口径较小，非球面数量少，且非球面度比较小，从而降低对光学材料的尺寸要求，减小制造成本，降低镜片的加工、检测难度。