专利详情

专利名称	自种子注入的双腔准分子激光器
申请号	CN201320849917.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203895737U	公开（授权）日	2014.10.22
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	周翊;范元媛;单耀莹;吴月婷;沙鹏飞;宋兴亮;张立佳;崔惠绒;王宇
主分类号	H01S3/08(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/08(2006.01)I;H01S3/10(2006.01)I
专利有效期	自种子注入的双腔准分子激光器至自种子注入的双腔准分子激光器	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种自种子注入的双腔准分子激光器，包括激光放电腔、激光输出模块、线宽压窄模块和宽带反馈模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下能产生激光，输出激光模式为放电腔中模式竞争取胜的激光模式。其中所述激光放电腔、激光输出模块和线宽压窄模块构成窄带谐振腔，用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄；所述激光放电腔、激光输出模块和宽带反馈模块构成一个宽带谐振腔，用于对模式竞争胜出后的窄带谐振腔模式进行谐振放大输出。本实用新型不仅可以实现准分子激光器窄线宽的输出，而且可以提高输出激光的能量及稳定性、缩小系统体积、降低系统功耗，结构简单，便于加工，调谐方便。