专利详情

专利名称	一种连续快速生长石墨烯的气相沉积装置
申请号	CN201420304385.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203890440U	公开（授权）日	2014.10.22
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	王姣霞;汪伟;刘兆平
主分类号	C23C16/54(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/54(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I
专利有效期	一种连续快速生长石墨烯的气相沉积装置至一种连续快速生长石墨烯的气相沉积装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种连续快速生长石墨烯的气相沉积装置，旨在解决石墨烯在基体上的快速连续生长问题，同时解决能量和原料无法得到有效利用的问题。通过卷材在反应腔体中U型排列或S型排列，实现了在反应腔体的一端连续进样和取样，连续生产；卷材的U型排列或S型排列有效利用了反应腔体内的空间，同时在相同生长时间内因卷材的多次卷绕提高了生长效率有效利用了能量，节约了成本；石墨烯在反应腔体内以卷材为基体快速生长，有效利用了反应腔体内的生长气体，节约了成本，提高了生产效率。