专利详情

专利名称	一种金属纳米叉指光栅的制备方法
申请号	CN201310301646.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104142530A	公开（授权）日	2014.11.12
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	李俊杰;孙伟杰;李林;全保刚;夏晓翔;顾长志
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I
专利有效期	一种金属纳米叉指光栅的制备方法至一种金属纳米叉指光栅的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种金属纳米叉指光栅的制备方法，其包括以下步骤：步骤A：在清洗好的衬底基片上，采用镀膜设备生长一定厚度的金属膜；步骤B：对所述金属膜旋涂光刻胶，采用电子束光刻方法在光刻胶上制备叉指光栅；步骤C：采用离子束刻蚀方法将所述叉指光栅转移到金属膜上；步骤D：在热丙酮溶液中洗去金属膜和叉指光栅上的残胶，再使用微波等离子体去胶机去掉残留有机物。上述制备方法采用了电子束光刻和离子束刻蚀技术，能够实现纳米尺寸的结构加工，精确控制叉指型金属光栅的结构周期，有效的改变光栅的结构周期，缝宽及线宽；且通过本方法制备的叉指光栅，兼有纳米电极和纳米光栅的两种功能。