专利详情

专利名称	螺芴衍生物分子玻璃及其制备方法和光刻中的应用
申请号	CN201380000139.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104144908A	公开（授权）日	2014.11.12
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	李嫕;郝青山;陈金平;曾毅;于天君
主分类号	C07C69/96(2006.01)I	IPC主分类号	C07C69/96(2006.01)I;C07C69/712(2006.01)I;C07C43/205(2006.01)I;C07C43/23(2006.01)I;C07C39/23(2006.01)I
专利有效期	螺芴衍生物分子玻璃及其制备方法和光刻中的应用至螺芴衍生物分子玻璃及其制备方法和光刻中的应用	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了螺芴衍生物分子玻璃，具有如下分子结构：式中：R₁～R₁₂为氢原子、羟基、甲氧基或酸敏感性取代基；取代基R₁～R₁₂可相同或不同，但同一苯环上取代基不能均为氢原子；该分子玻璃在各种极性溶剂中都具有很好的溶解性，适于制成薄膜，同时，其具有很高的玻璃化温度，适合光刻加工工艺的要求；本发明还公开了上述螺芴衍生物分子玻璃的制备方法，合成过程简单，适合工业化；本发明同时公开了以上所述分子玻璃为主体材料的光刻胶在光刻中的应用，其中外围为羟基(或部分羟基)的螺芴衍生物分子玻璃可作为负性光刻胶使用，外围羟基通过酸敏感性取代基保护(或部分保护)的分子玻璃可作为正性光刻胶使用。