专利详情

专利名称	OLED器件制造设备
申请号	CN201420243831.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203941951U	公开（授权）日	2014.11.12
申请（专利权）人	中国科学院长春应用化学研究所	发明（设计）人	马东阁;钱进;刘一鹏
主分类号	H01L51/56(2006.01)I	IPC主分类号	H01L51/56(2006.01)I
专利有效期	OLED器件制造设备至OLED器件制造设备	法律状态	授权
说明书摘要	OLED器件制造设备，属于有机光电子产业技术领域，为解决OLED中的有机材料和金属电极对水、氧敏感性和各部分单一制备的问题，该设备中过度单元通过闸板伐连通手套箱和装片单元，装片单元再通过闸板伐传入样片传递转换单元，样片传递转换单元前后左右，各有连接口，分别通过闸板伐连接到器件制备单元、磁控溅射单元和电子束单元；解决了OLED器件从玻璃样品进入，在真空状态下，直接出产成品的过程，该设备采用“团簇式”结构，不但节约了空间，而且通过传递交换室使磁控溅射单元、器件蒸发单元、电子束单元和封装单元更好的结合到了一起，真正实现了全真空无相互污染的OLED生产技术，而“团簇式”结构也利于设备检修和维护。