专利详情

专利名称	碳基减摩耐磨涂层及工件
申请号	CN201320791822.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203938726U	公开（授权）日	2014.11.12
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	王永欣;王立平;李金龙;薛群基
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;B32B15/04(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I
专利有效期	碳基减摩耐磨涂层及工件至碳基减摩耐磨涂层及工件	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型提供了一种碳基减摩耐磨涂层及工件。该碳基减摩耐磨涂层为由粘结层与工作层交替沉积而成的多层膜结构；所述粘结层为Ti、Cr、W元素中的一种的单质或氮化物或碳化物的薄膜，或者为Si元素的薄膜；所述工作层为类石墨非晶碳薄膜，所述类石墨非晶碳薄膜中石墨结构的原子百分含量大于70%。该碳基减摩耐磨涂层，通过粘结层和工作层的交替沉积，实现了类石墨非晶碳涂层的大厚度制备，使类石墨非晶碳涂层优异的水环境摩擦学性能得以长寿命稳定发挥；且交替沉积的多界面设计，进一步提高了类石墨非晶碳涂层在各种水基流体环境中的耐腐蚀/侵蚀能力。