专利详情

专利名称	一种用于超导腔内表面化学抛光的封闭式循环系统
申请号	CN201420234405.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203947160U	公开（授权）日	2014.11.19
申请（专利权）人	中国科学院上海应用物理研究所	发明（设计）人	马震宇;刘建飞;侯洪涛;封自强;毛冬青;罗琛
主分类号	C23F3/06(2006.01)I	IPC主分类号	C23F3/06(2006.01)I
专利有效期	一种用于超导腔内表面化学抛光的封闭式循环系统至一种用于超导腔内表面化学抛光的封闭式循环系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种用于超导腔内表面化学抛光的封闭式循环系统，该系统包括：酸液循环回路，包括与超导腔两端分别相连形成封闭式循环回路的酸液箱，该酸液箱中容纳有通过第一泵在酸液循环回路中进行循环的酸液；冷却水循环回路，包括冰水箱，该冰水箱中容纳有通过第二泵在冷却水循环回路中进行循环的用于冷却酸液和超导腔外表面的冰水；洁净水冲洗管路，包括与超导腔下端相连的净水箱，以及与超导腔上端相连的废水回收箱，该净水箱中容纳有通过第三泵在洁净水冲洗管路中从净水箱流向废水回收箱的洁净水；废液回收管路，包括与超导腔两端分别相连的废液回收箱。本实用新型提高了操作安全性，易于控制酸液温度，改善了抛光效果，保证了产品质量。