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大口径反射镜干涉仪立式检测反射光斑自动定位方法

  • 申请号:CN201410380390.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 公开(公开)号:CN104165598A
  • 公开(公开)日:2014.11.26
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 大口径反射镜干涉仪立式检测反射光斑自动定位方法
申请号 CN201410380390.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN104165598A 公开(授权)日 2014.11.26
申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 陶小平;罗霄;薛桂林;郑立功;张学军
主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I
专利有效期 大口径反射镜干涉仪立式检测反射光斑自动定位方法 至大口径反射镜干涉仪立式检测反射光斑自动定位方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 大口径反射镜干涉仪立式检测反射光斑的自动定位方法,属于大口径反射镜高精度加工与检测技术领域,该方法借助于大口径反射镜检测平台反射镜光轴方向和垂直光轴平面的两个半径垂直方向上三套实时图像采集系统,同时拍摄固定在待加工反射镜体侧壁固定红色LED特征靶标a和绿色LED特征靶标b,对比靶标图像坐标变化,计算当前位置与理想位置的相对旋转角和平移量,自适应指导反射镜转台和平移导轨调整位置和姿态,从而使反射光斑正确返回检测光路,解决了人工空间寻找反射光斑的难题,也提高了光学检测效率。

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