专利详情

专利名称	投影物镜波像差在线检测装置和检测方法
申请号	CN201410421815.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104166316A	公开（授权）日	2014.11.26
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	吴飞斌;唐锋;王向朝;李杰;李永
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	投影物镜波像差在线检测装置和检测方法至投影物镜波像差在线检测装置和检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种投影物镜波像差在线检测装置和方法，所述检测装置结构包括光源、旋转散射器、第一聚焦透镜、光纤阵列、第二聚焦透镜、散射光学元件、物面光栅板、像面光栅板、二维光电传感器、相移控制模块和计算机；旋转散射器是由支架、电动机和圆形漫散射光学元件组成，与多模光纤阵列共同用于将相干光或部分相干光的光源转化为非相干光。通过采集相移量分别为0、π、的10幅干涉条纹图计算相位，消除光栅多级衍射光干涉对相位提取精度的影响。本发明改善了物面光栅对光场空间相干性的调制效果，实现了高精度的对准效果，降低了波像差检测中相位提取的系统误差，从而提高光学系统的波像差检测精度。