专利详情

专利名称	光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法
申请号	CN201410406641.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104165755A	公开（授权）日	2014.11.26
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	李杰;唐锋;王向朝;戴凤钊;吴飞斌;李永
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法至光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光栅剪切波像差检测干涉仪，包括光源、聚焦镜、滤波小孔、二维光栅、光栅位移台、光阑板、光阑对准位移台和二维光电传感器。本发明检测待测光学系统的波像差，当待测光学系统经过光源照射，其波前经过光栅分离和剪切产生干涉图，将多个衍射级次在不同方向上剪切干涉产生的差分信息进行波前重建，得到系统误差相关量，进而得到影响光栅剪切干涉仪波像差检测精度的主要系统误差项的相关参数：不同级次衍射光的汇聚点间距和探测器倾斜角度，从而消除波像差检测中的几何光程误差和探测器倾斜误差，提高波前重建的精度和波像差检测的准确度。本发明进行待测光学系统的波像差检测，消除检测中的系统误差，提高检测准确度。