专利详情

专利名称	一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置
申请号	CN201410428000.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104238065A	公开（授权）日	2014.12.24
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	孙振;赵磊;倪明阳;李显凌;杨怀江;隋永新
主分类号	G02B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置至一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置，解决现有光刻投影物镜在运输和搬运过程中可动元件组件和驱动器存在损坏的问题。该装置包括驱动器、可动元件组件的驱动部位、锁紧器和紧固螺钉；可动元件组件的驱动部位包括镜框固定体、镜框可动体和镜框驱动部位，所述的镜框固定体设置紧固螺钉安装孔、锁紧器容纳槽、锁紧螺纹孔和驱动器安装面，锁紧器包括限位凸台和锁紧螺纹柱，限位凸台上设置多个圆周均布的旋紧槽，旋紧槽用于使锁紧器在锁紧器容纳槽中的旋入或旋出，限位凸台和锁紧螺纹柱中心设置中心孔；所述的锁紧螺纹柱设置在锁紧螺纹孔中，且与锁紧螺纹孔配合；驱动器穿过中心孔作用到镜框驱动部位上。