专利详情

专利名称	多功能超快透射电子显微镜电子枪
申请号	CN201410007910.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104766776A	公开（授权）日	2015.07.08
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	李建奇;田焕芳;曹高龙;马超;杨槐馨
主分类号	H01J37/06(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/06(2006.01)I;H01J37/065(2006.01)I
专利有效期	多功能超快透射电子显微镜电子枪至多功能超快透射电子显微镜电子枪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种多功能超快透射电子显微镜电子枪。该超快透射电子显微镜电子枪包括：激光源、电子枪本体和激光引入模块。电子枪本体包括：电子枪套筒，包括：第一段套筒和第二段套筒；以及自上而下依次设置的阴极、加速极和阳极，其中，阴极和加速极位于第一段套筒内，阳极位于第二段套筒内。激光引入模块，包括：引入模块套筒，密封连接于上述第一段套筒和第二段套筒之间，在该引入模块套筒的侧面开设激光入射窗；激光反射镜，位于引入模块套筒内，正对激光入射窗，且靠近引入模块套筒的中心轴线设置，其反射面与引入模块套筒中心轴线呈45°。本发明多功能超快透射电子显微镜电子枪所获得的光发射电子的相干性是目前性能最好的。