
静电键合设备
- 申请号:CN201620795392.X
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院声学研究所
- 公开(公开)号:CN206033222U
- 公开(公开)日:2017.03.22
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 静电键合设备 | ||
申请号 | CN201620795392.X | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN206033222U | 公开(授权)日 | 2017.03.22 |
申请(专利权)人 | 中国科学院声学研究所 | 发明(设计)人 | 汤亮;张忠山;季磊;支萌辉;齐敏;孙泉;乔东海;张倩 |
主分类号 | B81C3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C3/00(2006.01)I |
专利有效期 | 静电键合设备 至静电键合设备 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 本实用新型涉及一种静电键合设备,该设备包括手套箱设备(0000)和静电键合发生设备(1000),静电键合发生设备(1000)内部设置有静电键合室,手套箱设备(0000)内部设置有手套箱;静电键合室与手套箱之间设立连接通道(0002),连接通道(0002)用于实现操作对象的内部转移。本实用新型利用连接通道使手套箱和静电键合室连接在一起,保证了整个操作环境的洁净度,保证了操作环境与氧气、水汽隔绝,避免了厌氧、怕水汽的对象在操运过程中接触氧气和水汽的问题。 |
交易流程
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专利 -
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