专利详情

专利名称	一种手动晶圆装卸载装置
申请号	CN201620997118.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206076208U	公开（授权）日	2017.04.05
申请（专利权）人	中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心	发明（设计）人	陈鲁;张朝前;刘虹遥;杨乐;马砚忠;路鑫超
主分类号	H01L21/67(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/67(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I
专利有效期	一种手动晶圆装卸载装置至一种手动晶圆装卸载装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种手动晶圆装卸载装置，该装置包括机械手指、晶圆定位件、状态切换单元、滑动单元、滑轨单元及主机连接板。晶圆定位件设置在机械手指上，晶圆通过晶圆定位件固定在机械手指上；机械手指通过状态切换单元与滑动单元连接，状态切换单元纵向调节机械手指的位置；滑动单元设置在滑轨单元上，沿滑轨单元滑动；滑轨单元通过主机连接板与仪器连接，滑轨与仪器的入口相对设置，晶圆经仪器的入口进出仪器内部。本实用新型提供的手动晶圆装卸载装置，结构简单、制造及使用成本较低，适用于中低端半导体产品。