专利详情

专利名称	以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝
申请号	CN201621119739.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206146527U	公开（授权）日	2017.05.03
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	罗海瀚;李耀鹏;刘定权;蔡清元;蒋林
主分类号	G01J3/04(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/04(2006.01)I
专利有效期	以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝至以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝，该狭缝通过在蓝宝石片基底的入射面先镀制一层亚微米级厚的镍铬合金消光膜层形成狭缝图形，然后再分别在入射面和出射面镀制相应波段的增透膜。该狭缝可以使得在0.95～2.50微米光谱区间，透明狭缝区域的光谱透过率大于97％,不透明区域的光谱平均透过率低于0.1％。该狭缝宽度和形状可调，线性精度可达1微米。狭缝厚度仅为200～300纳米，可有效去除杂散光，狭缝结构简洁，定位精度高。该狭缝可应用于短波红外成像光谱仪等短波红外仪器中。