专利详情

专利名称	一种自动调节的斜入射光路
申请号	CN201620992982.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206161944U	公开（授权）日	2017.05.10
申请（专利权）人	中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心	发明（设计）人	陈鲁;刘虹遥;张朝前;杨乐;马砚忠;路鑫超
主分类号	G02B7/182(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/182(2006.01)I;G05D3/12(2006.01)I
专利有效期	一种自动调节的斜入射光路至一种自动调节的斜入射光路	法律状态
说明书摘要	本实用新型属于光学技术领域，公开了一种自动调节的斜入射光路，包括：激光器；第一反射镜，使光束斜入射至样品台表面，由电动旋转镜架控制旋转角度；第二反射镜；分束器；位置探测器，探测得到第二子坐标系中光束中心位置；控制单元，获取第二子坐标系中光束中心位置，计算得出第一子坐标系中光束中心位置，计算得到第一反射镜需要调整的角度，通过发布指令传递给电动旋转镜架，从而调整第一反射镜的旋转角度；本实用新型解决了现有技术中不能自动监控和调节反射镜，且在反射镜发生偏移后，校准精度较低、难度较大、花费时间较长的问题；达到了调节精度高、难度低、时间短的技术效果。