专利详情

专利名称	一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置
申请号	CN201621114591.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206210745U	公开（授权）日	2017.05.31
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	顾玉明;韦江龙;谢亚红;李军;谢远来;胡纯栋;梁立振;邑伟;陶玲;杨思皓
主分类号	H01J37/08(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/08(2006.01)I
专利有效期	一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置至一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置，在放电室的顶端固定有放电室盖板，在放电室盖板的上方依次安装有所述的RF驱动器和铯注入器，所述的放电室固定安装在探针板上，在所述的探针板上安装有多个朗缪尔探针，所述的磁滤器安装在探针板的下面，所述的锥形支撑座位于探针板的下方，电极系统安装在锥形支撑座上，在锥形支撑座上设有两层金属法兰，所述的支撑环氧位于两层金属法兰之间，在锥形支撑座上还设有冷却水管一，所述的冷却水管一的两端分别位于金属法兰上。本实用新型通过RF驱动器产生稳定的长脉冲等离子体，在铯注入器的帮助下提高负氢离子的产出，通过引出系统引出束流，束流密度达到350A/m²。