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图像传感器及其制造方法

  • 申请号:CN201110455382.3
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海高等研究院
  • 公开(公开)号:CN102522416B
  • 公开(公开)日:2014.10.01
  • 法律状态:专利权的转移
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 图像传感器及其制造方法
申请号 CN201110455382.3 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102522416B 公开(授权)日 2014.10.01
申请(专利权)人 中国科学院上海高等研究院 发明(设计)人 方娜;汪辉;陈杰
主分类号 H01L27/146(2006.01)I IPC主分类号 H01L27/146
专利有效期 图像传感器及其制造方法 至图像传感器及其制造方法 法律状态 专利权的转移
说明书摘要 一种图像传感器及其制造方法,包括半导体衬底、光学传感器件、像素读出电路,其特征在于,半导体衬底包括支撑衬底、以及依次覆盖在所述支撑衬底表面的第一绝缘埋层、第一半导体层、第二绝缘埋层和第二半导体层;其中,第一半导体层和第二半导体层厚度不同,光学传感器件位于较厚的半导体层,像素读出电路位于较薄的半导体层。本发明的图像传感器具有较高的光吸收效率,电路具有高速、低功耗、抗闩锁的优良性能,同时还具有抗高能粒子辐射的能力。

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