专利详情

专利名称	一种材料辐射致气体渗透的测试装置
申请号	CN201621138020.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206223611U	公开（授权）日	2017.06.06
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	吴晓斌;罗艳;王魁波;陈进新;谢婉露;张罗莎
主分类号	G01N15/08(2006.01)I	IPC主分类号	G01N15/08(2006.01)I;G01N7/10(2006.01)I
专利有效期	一种材料辐射致气体渗透的测试装置至一种材料辐射致气体渗透的测试装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种材料辐射致气体渗透的测试装置，该装置包括：真空腔室系统、辐射系统、抽气系统、供气系统和检测系统，所述真空腔室系统包括左腔室(1)和右腔室(2)，所述辐射系统包括光源(5)及照明系统，所述抽气系统包括三个抽气通道，所述供气系统包括顺次连接的气瓶(16)、减压阀(17)、截止阀(18)和流量控制器(19)，所述检测系统包括第一真空计(20)、第二真空计(21)和质谱计(22)，其中第一真空计(20)、第二真空计(21)分别用于测试左腔室和右腔室的压力，质谱计(22)用于测量右腔室的气体组分和分压。该装置结构简单，能够准确真实地和在线实时地测量辐射下材料的气体渗透率。